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真空溅射镀膜设备行业标准

发布日期:2018-02-11 作者:青岛达跃钛金不锈钢智能科技有限公司 点击:

真空离子镀膜应用设备及工程.jpg

1、范围

本标准规定了真空溅射镀膜设备的型号和基本参数,技术要求,试验方法,检验规则,标志、包装、运输和贮存等。

本标准适用于压力在1*101~5*10-3Pa范围的真空溅射镀膜设备。


2、型号与基本参数

2.1 设备的型号应符合JB/T7673规定。

2.2设备的基本参数应符合表1的规定。

3、技术要求

3.1设备正常工作条件

3.1.1温度:10度-30度

3.1.2相对湿度:不大于75%

3.1.3冷却水进水温度:不高于25度

3.1.4冷却水质量:城市自来水或质量相当的水

3.1.5供电电源:380V、三相四线制、50Hz,电压波动范围:361~399V,频率波动范围:49~51Hz.

3.1.6环境:室内应整洁;地面、天花板及设备周围墙壁应干净;空气应清洁,不应有可引起电器及其他金属件表面腐蚀或引起金属间导电的尘埃或气体存在。


3.2结构要求

3.2.1设备中静、动密封圈的结构形式及尺寸应符合GB/T6070和JB/T1090-1092的规定。

3.2.2真空管道上和镀膜室靠近排气口位置上应装真空测试十分规管,分别测量各部位的压力。

3.2.3如果设备以油扩散泵或油扩散喷射泵为主泵,应在其进气口一侧安装油蒸气捕集阱。

3.2.4镀膜室应设有观察窗,对在镀膜过程 中发生射线的设备,观察窗上应加装防射线镜片。

3.3制造质量

设备的制造质量要求按GB/T11164-1999中的4.4

3.4安全防护要求

设备的安全防护要求按GB/T11164-1999中的4.5

      多年以来,青岛达跃钛金不锈钢智能科技有限公司的真空离子镀膜应用设备及工程,为国内知名镀膜生产企业的发展提供了有力的技术支持,彩色不锈钢制品色彩鲜艳,设计感强,适合中国各地区工装及家装工程。公司所完成的不锈钢装饰工程,应用设备和工艺精细,为国内知名镀膜生产企业的发展提供了有力的技术支持,得到了广大客户的高度信誉。

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