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离子镀膜工艺及其参数

发布日期:2018-02-09 作者:青岛达跃钛金不锈钢智能科技有限公司 点击:

   青岛达跃钛金不锈钢智能科技有限公司真空镀膜设备.jpg

      离子镀要获得符合性能所要求的薄膜,就必须使沉积的薄膜具有合适的成分和组织结构及其膜-基结合力。可以利用前述的离子轰击效应对成膜过程各环节的有利影响来实现。离子镀影响成膜的主要因素是到达基片的各种粒子(包括膜材原子和离子、工作气体的原子和离子、反应气体的原子和离子)的能量、通量和各通量的比例。此外,还有基片的表面状态和温度。实施的手段关键是调控粒子的等离子体浓度和能量以及基片温升。不同的离子镀技术和设备产生和调控等离子体的机制是有所不同的。影响成膜工艺参数主要有:镀膜室的气体压力、反应气体的分压、蒸发源功率、蒸发速率、蒸发源和基片间的距离、沉积速率、基体的负偏压和基体温度。

      多年以来,青岛达跃钛金不锈钢智能科技有限公司的真空离子镀膜应用设备及工程,为国内知名镀膜生产企业的发展提供了有力的技术支持,彩色不锈钢制品色彩鲜艳,设计感强,适合中国各地区工装及家装工程。公司所完成的不锈钢装饰工程,应用设备和工艺精细,为国内知名镀膜生产企业的发展提供了有力的技术支持,得到了广大客户的高度信誉。

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