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如何减少真空镀膜设备中的灰尘

发布日期:2017-10-24 作者:青岛达跃钛金不锈钢智能科技有限公司 点击:

真空离子镀膜设备.jpg

    真空镀膜设备,主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

真空镀膜设备应用十分广泛,如今在我们的生活中到处可见,是必不可少的一项技术。但是真空镀膜设备在使用一段时间后,表面就会留下灰尘影响真空镀膜的整体效果,那么如何处理真空镀膜的灰尘呢?青岛达跃钛金不锈钢智能科技有限公司专业的真空离子镀膜技术提供厂家为您提供如下:

1.设备使用的源材料要符合必要的纯度要求。

2.设备样品取出后要注意放置环境的清洁问题。

3.真空镀膜一段时间后,真空室内壁必须要清洁处理。

4.真空镀膜清洗衬底材料,必须要做到严格合乎工艺要求。

5.真空镀膜适当的增加环境的湿度,有利于降低周围环境的悬浮固体颗粒物。

6.工作人员在操作时需要戴手套、脚套等,要有专门的服装。

由于灰尘对镀膜效果会产生比较大的影响,因此为了避免在真空镀膜设备中留下灰尘,应该在使用中注意以上几点来尽量避免,除此也要注意经常清洗,避免灰尘越积越多。


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相关标签:真空离子镀膜

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