不锈钢装饰工程

新闻分类

产品分类

联系我们CONTACT

青岛达跃钛金不锈钢智能科技有限公司

联系人:宋经理

手机:15864718699

电话:0532-88598211  88509322

邮箱:1772234952@qq.com

传真:0532-888562553

网址:www.china-pvd.com

地址:青岛即墨区即墨妙府老酒大街与珠江一路交叉口西北180米

靶材料在真空镀膜之中的应用

发布日期:2020-07-24 作者: 点击:

u=3202587667,4171364293&fm=26&gp=0.jpg

新的溅射设备几乎都是利用强磁场来盘旋电子,加速靶四周氩离子的电离,增加了靶与氩离子的碰撞几率,提高了溅射速率。一般情况之下,金属涂层采用直流溅射,非导电陶瓷材料采用射频交流溅射。其基本原理是在真空放电之中使用辉光放电(glow)会对靶表面的氩离子产生冲击,等离子体之中的阳离子会作为飞溅物加速冲向负极表面。这种冲击会使靶材飞出并沉积在基底之上形成薄膜。

一般来说,真空离子镀膜技术溅射镀膜有几个特点:金属、合金或绝缘体可以制成薄膜材料。在适当的设置条件之下,可以用多个复合靶制备相同成分的薄膜。在放电气氛之中加入氧气或其它活性气体,可以制成靶材料与气体分子的混合物或化合物。可以控制靶的输入电流和溅射时间,容易获得高精度的薄膜厚度。与其它工艺相比,制备大面积均匀薄膜是有利的。溅射粒子几乎不受重力影响,靶材和衬底的位置可以自由排列。基底与薄膜的结合强度是常规蒸发镀膜的10倍超过。由于溅射粒子的能量很高,它们会继续扩散到成膜表面,从而获得坚硬致密的薄膜。同时,高能量使衬底在较低的温度之下获得结晶膜。成膜末期成核密度高,可制备10nm下列的超薄连续薄膜。


本文网址:http://www.china-pvd.com/news/714.html

相关标签:真空离子镀膜

最近浏览:

在线客服
分享 一键分享